MILAN体育：盛鑫半导体请求硅外延设备控制参数在线监测设备及办法专利保证外延片出产质量

  国家知识产权局信息数据显现，南京盛鑫半导体资料有限公司;南京国盛电子有限公司请求一项名为“一种硅外延设备控制参数在线监测设备及办法”的专利，公开号CN121207258A，请求日期为2025年9月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种硅外延设备控制参数在线监测设备及办法，监测设备包含沟通电压变送器、沟通电流变送器、温度传感器、掺杂压力传感器、载气压力传感器、PLC体系；所述沟通电流变送器、沟通电压变送器均与加热灯管衔接，所述温度传感器包含与进水水路衔接的进水温度传感器、与出水水路衔接的出水温度传感器；所述掺杂压力传感器与掺杂管路衔接，载气压力传感器与载气管路衔接；所述PLC体系用于接纳并处理沟通电压变送器、沟通电流变送器、温度传感器、掺杂压力传感器、载气压力传感器收集数据。本发明经过多种监测设备对外延设备的温度、掺杂、硅源进行全方位监测，完成对外延设备作业状况的多维控制，然后保证外延片出产质量。

  天眼查资料显现，南京盛鑫半导体资料有限公司，成立于2021年，坐落南京市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本60000万人民币。经过天眼查大数据分析，南京盛鑫半导体资料有限公司参加招投标项目100次，专利信息29条，此外企业还具有行政许可48个。

  南京国盛电子有限公司，成立于2003年，坐落南京市，是一家以从事专业方面技能服务业为主的企业。企业注册资本20779.2934万人民币。经过天眼查大数据分析，南京国盛电子有限公司共对外出资了1家企业，参加招投标项目29次，产业线条，此外企业还具有行政许可208个。

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